紫外光和红外光，yamato等离子表面改性紫外光不仅能被材料强烈吸收，还能在表面产生氧自由基，活性位点会继续与等离子体中的空气成分发生反应，导致一系列的表面改性。中性粒子通过氧自由基解离在材料表面引起各种化学反应。离子流和表面冲击会导致表面腐蚀和加热，以及类似中性流的反应。这三种功能共同构成了低温等
