图1电容耦合等离子体放电现象等离子体刻蚀由于其混沌的物理化学响应以及不同中性粒子和带电粒子（电场、流场、力场等）的相互作用而难以描述。有些文章是针对初学者简单介绍等离子刻蚀中的前几个工艺，uv附着力促进剂原理但对原理的描述十分有限。根据等离子体的作用原理，uv附着力促进剂原理可选气体可分为两类：氢气
