氧和氩是不收敛的气体。等离子体与晶体表面二氧化硅层上的活性原子和高能电子相互作用后，sic表面的改性破坏了原有的硅氧键结构，转变为非桥键，使其在表面活化（化学），使其与活性原子的电子熔合，在其表面产生许多悬挂键。同时，这些悬吊键以OH基团的形式存在，形成稳定的结构。用浸渍碱或无机碱退火后，表面的Si
