通常，pt-5s等离子表面活化在给定温度下，较低温度或较高速率的反应会受到等离子去污剂的阻碍。等离子体活化剂环境适用于许多化学变化。是否发生特定反应主要取决于输入的工艺参数。气体种类、流量、压力、输入功率等边界和基板之间会发生各种反应。相关的表面处理由烧蚀和沉积速率决定。当使用有机蒸气作为工作气体时
