另两种常用的气体是氩气和氦气，ps表面附着力助剂具有击穿电压低、等离子稳定等优点，其中氩原子的电离能ε为15.75eV，氩等离子中含有大量的亚稳态的原子，是理想的物理反应气体。 在实际清洗中，单一的利用物理或化学作用效果欠佳，更多是充入混合气体，同时利用两种或以上的混合气体以得到更
