（一）控制系统：控制系统：触摸屏+PLC（二）励磁电源系统：电源：13.56MHz射频励磁电源，plasma表面清扫(C)真空室：铝合金室，(D)工艺气体系统：工艺气体：氩氢混合物(E)真空泵：油泵主要采用两级旋片式油泵在设计卧式等离子清洗机时，应充分考虑被处理物品的形状和尺寸、放置方式和容量要求、
