随着微细加工工艺的发展，pe附着力差原因蚀刻已成为微细加工的总称，广义上是通过溶液、反应离子或其他机械方法对材料进行剥离和去除的总称。蚀刻机原理电感耦合等离子体蚀刻（简称ICPE）是化学和物理过程综合作用的结果。其基本原理是在真空和低压下，ICP射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，并占射频输出的一
