基于生理反应的等离子体清洗,也称为溅射腐蚀(SPE)或离子铣(IM),其优点是没有化学反应本身,清洁表面不会留下任何氧化,可以维护清洁的化学纯度,腐蚀各向异性;缺点是表面造成极大的破坏,产生很大的热效应，pe袋丝印附着力对清洗表面各种不同物质的选择性差，腐蚀速度慢。基于化学反应的等离子体清洗的优点是
