2.2 工作压力对等离子清洗效果的影响 工作压力是等离子清洗的重要参数之一。压力的增加意味着等离子体密度的增加和粒子均匀能量的降低。对于以化学反应为主的等离子，pdc-mg等离子蚀刻机器密度等离子系统的清洗速度明显提高，但以物理冲击为主的等离子清洗系统的效果尚不清楚。此外，压力的变化会导致等离子清洗
