等离子体的“活性”部分包括离子、电子、反应基团、激发（亚稳态）核素、光子等。等离子表面处理机利用上述活性部件对测试样品进行表面处理，pce-6等离子体除胶设备以达到清洗、改性、雕刻的目的。真空等离子清洗机的结构主要由控制模块、真空室、真空泵三部分组成。 1.控制部分。国产真空等离子吸尘器从国外进口，
