对硫等离子体钝化条件的优化，fpc达因值是什么意思样品的PL强度提高了71%，并显示出较好的PL稳定性。。射频等离子体表面处理仪内官能团的谱线强度体现出气体的离解程度：借助柱体谐振腔式MPCVD装备可以根据增强沉积压力来增强等离子体密度，在基片台上实现金刚石膜的快速生长。改变石英管位置、腔体结构、调
