等离子体中存在以下物质:快速运动过渡态的电子、中性原子、分子和处于激发过渡态的原子团(自由基);电离原子、分子和分子的解离反应过程中。产生的、未反应的分子、原子等,icp等离子体温度材料总体上保持电中性。 2、等离子体的种类低温等离子体高温等离子体按等离子体的温度分为高温等离子体和低温等离子体。在等