氟的用量会影响InAIAs的刻蚀速率。而含氟气体流量的增加会显著改变铟铝砷和铟镓砷的选择性比。CHF3和BCl3的气体组合或CF4和BCl3的选择比例可提高一倍以上。两种气体组合的压力和射频功率对刻蚀速率的影响：压力越高，cw3008电晕机一般开多少功率刻蚀速率越低，这与我们一般的刻蚀规律是一致的，
