在使用O2的等离子体清洗过程中，cob清洁机器氧离子与有机分子反应形成H2O或CO2气化。当Ar和O2的混合物用于清洗时，反应速度比任何单一气体都快得多。氩离子被负偏压加速，形成的动能可提高氧的反应能力。这样就可以清洗污染严重的装置表面。等离子清洗工艺对键合前等离子清洗的作用；（1）清洗后粘结强度增
