(3)电子遮蔽效应(Eletron Shading Effect)。等离子体中电子比离子的方向性更差，adp附着力助剂会干吗即 电子的入射角度分布比离子要大，更容易被光阻遮蔽，正离子聚集在蚀刻前端形成对器件 的正电势。 (4)反向电子遮蔽效应(Reverse Electron Shading Eff
