等离子刻蚀对EM的影响 等离子刻蚀对EM的影响：应力迁移（SM）和LOW-K TDDB，SMT等离子除胶当器件工作时，电子与金属晶格交换存在动量，因此电流在金属之间流动。连接。 , 金属离子在ELECTRON WIND的影响下漂移，导致部分导线出现空心或小丘。这是一种电迁移现象。当空隙的生长将导线电
