通过对工件表面的化学或物理影响进行等离子表面活化机械处理处理后，PFC等离子体表面清洗机器活性气体被电离，产生高活性活性离子，与表面的污染物发生化学反应进行清洁。应根据污染物的化学成分选择反应气体。离子化学清洗速度快，选择性好，对有机污染物有很好的清洗效果。等离子表面活性剂的表面反应主要基于物理作用
