在这种情况下，PFC等离子除胶o2 等离子体与污垢反应生成二氧化碳、一氧化碳和水。一般来说，化学反应在去除有机污染物方面表现出色。 O2是低温等离子设备中常用的活性气体，属于物理+化学处理方式，离子可以在表面物理跳跃形成粗糙表面。基于此，高活性氧离子在被破坏后也与分子链发生化学反应，形成活性基团的亲
