（3）真空等离子体清洗设备在待机状态下通常是真空泵的运行，PET基材附着力影响因素主要通过高真空气动挡板阀（挡板阀）的开启和关闭来实现真空室的抽真空功能。在设备运行过程中，若出现真空泵倒计时故障、真空泵热过载故障、电源偏差、反射过度等报警，为保护设备关键部位不受损坏，设备将自动停机（含真空泵）。综上
