密封清洁器，LED等离子体表面改性盖上反应室，旋转真空泵约 5 分钟。此时，真空泵正在排出真空室内的空气（此时等离子清洁器处于关闭状态）。大约 5 分钟后，等离子室慢慢发光。从真空室中抽出空气。 1. 将样品放入腔室；关闭三通阀（向下箭头）；握紧清洗门接近真空腔室；打开真空泵电源开关，等待几分钟让空
