简而言之,ITO膜附着力随着配置文件尺寸的缩小,几乎所有的度量都得到改善,单位成本和开关功耗降低,速度提高了。但随着尺寸的减小,器件的漏电流也会增大。因此,用户的速度和功耗会明显增加,厂商需要用更好的图形设计和工艺优化来应对这样严峻的挑战。国际半导体技术路线图(ITRS)对此有很好的描述。英特尔系列