宽幅等离子表面处理机等离子清洗IC制造宽幅等离子表面处理机增加磁盘污染的隐患。引线键合焊盘的污染会降低焊盘的抗拉强度，ICPplasma去胶降低键合强度的均匀性。这就是为什么在引线键合之前去除焊盘上的污染物很重要的原因。射频驱动的宽幅等离子二道等离子清洗技术在引线键合之前准备好焊盘。宽等离子表面处理
