电子流量计采用美国进口，CCP等离子体清洗机模拟量输入输出。范围为0～200 SCCM，可在该范围内无级调节。根据特殊制造工艺的要求，PLC 可用于执行 PID。通过调节质量流量计，可以控制真空度。可根据特殊制造工艺要求选用干泵、废气处理设备、滤油器、滤油回油设备等。采用高等离子清洗机的电极结构设计
