目前常用的等离子体激励频率有三种:激励频率为40kHz的超声波等离子体、激励频率为13.56mhz的射频等离子体和激励频率为2.45ghz的微波等离子体。自给偏压的非均匀等离子体不同,超声波的自给偏压等离子约为1000 v,射频等离子体的自给偏压约为250 v,自给偏压的微波等离子体很低,只要几十伏
