在低压(13~1300Pa)下对气体施加高频电场时,气体原子或分子与具有一定能量的电子发生碰撞,电离产生由离子、电子及中性原子和分子组成的等离子体。这种低温等离子体的电离度小,相当部分是处于激发态的原子和分子,具有很强的化学活性，1300附着力促进剂当与被刻蚀物接触时，发生化学反应生成挥发性物质,达
