9.3.8 检查室门垫片 室门垫片对于保持良好的真空室至关重要。警告:有燃烧的危险!警告:反应室垫圈会导致系统出现真空泄漏。检查密封面内部和外部密封条是否有裂纹或碎屑时。请及时更换。这种垫片的平均寿命为 8-12 个月。要检查腔室垫圈,120等离子用多大发电机请执行以下步骤: 1. 小心地从反应室中