同时,江苏高附着力树脂厂商7nm工艺蚀刻机于去年(2017年)离开实验室,开始向台积电等厂商供货。这很好地证明了这款设备已经实现了量产。显然,中国在这方面已经处于世界领先水平。 ↑ 安装在大国重型机械上的中国蚀刻机(蚀刻机用于薄膜)↑ ↑ 美丽的等离子蚀刻工艺↑中国的“芯”之路任重道远,好在现在并非