通过化学或物理作用对工件表面进行处理，高附着力银浆以去除分子水平上的污染物（通常为3-30nm厚），从而提高工件的表面活性。 RF 等离子清洗是一种高度精确的清洗，因为去除的污染物可以是有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、颗粒污染物等。针对不同的污染物，需要使用不同的清洁工艺。一般来说，高频等离子清洗
