等离子体可以通过从高频激发的微波或热射线发射的高能电子冲击电离产生。这些低压等离子体充满了整个处理空间，电泳漆涂层上喷面漆附着力含有大量的活性原子并提高了氮化效率。在射频等离子渗氮中，等离子的产生和电路板偏压是分开控制的，因此离子能量和到电路板表面的通量可以分开控制。由于工作气压相对较低，耗气量会相
