直接影响等离子处理器清洗效率的因素主要有以下几个方面：(1)放电压力:对于低压等离子体，青海等离子体球化装备价格放电压力增大，等离子体密度越高，电子温度越低。等离子体的清洗成果取决于密度和电子温度，如密度越高，清洗速度越快，电子温度越高，清洗成果越好。因此，放电压力的选择对低压等离子体的清洗过程很重
