2、大量杂质附着在真空泵的吸滤器上，内附着力是什么意思滤网堵塞： 3、大量杂质附着在真空泵腔内，附着在真空泵上、排气阀板破裂等.，影响真空泵的排气能力，甚至会损坏真空泵转子等关键部件。由于腔体内附着有很多杂质，一般清洗很难去除，需要化学试剂浸泡清洗或物理抛光去除。经确认，型腔内的杂质主要是熔渣沉积，
