工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-50Pa 的真空度，陕西等离子表面处理机原理再在高频发生器交变电场的作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。其中物理清洗又有PIG技术清洗
