带冷凝器单频电容耦合等离子体是令人满意的，陕西等离子处理设备价格因为在耦合等离子体设备的初始发展阶段只有一个高频电源，高频电源功率的变化同时影响等离子体密度和离子冲击能量。 .多频电容耦合等离子刻蚀机 电容耦合等离子刻蚀机的性能通过引入多频外接电源大大提高。在多频外加电场中，高频电场主要控制等离子体
