其基本原理是在电场的加速作用下产生高能电子。当电子的平均能量超过目标分子的化学键能时,附着力9级分子键断裂,达到去除气态污染物的目的。 等离子处理的优点是: 1.在需要粘合之前进行清洁以改变表面张力。工艺选择引入的反应气体(O2/H2/N2/AR等)通过微波等离子源电离,离子与表面的有机污染物反应