由于功率范围基本恒定，拉开法附着力试验记录表频率是影响等离子体自偏压的关键参数，随着频率的增加自偏压逐渐下降。此外，随着频率的增加等离子体中电子的密度也会逐渐增加，而粒子平均能量逐步下降。工作气体的选择对等离子清洗效果的影响 工艺气体的选择是等离子清洗工艺设计的关键步骤，尽管很多时候大多数气体或气体
