其关键过程是:第一个清洁部分进入真空室固定,真空泵和其他设备开始真空排气大约10 pa;然后混合气体的低温等离子体清洗机清洗(根据不同的清洗材料,混合气体的选择是不同的,如氧气、H2, Ar, N2,等等),真空室中的极板与保护地之间施加高频电压，钢制表面涂料附着力等级使混合气体被击穿并通过辉光放电
