一、 调整合适的频率： 频率越高，附着力温度越高氧越易电离构成等离子体。频率太高，以致电子振幅比其平均自由程还短，则电子与气体分子磕碰概率反而减少，使电离率降低。通常常用频率为 13.56MHz及2.45GHZ 。 二、 调整合适功率： 关于必定量的气体，功率大，等离子体中的的活性粒
