因为要加速等离子体,所以需要高能量,这样等离子体中的原子和离子的速度才能更高。需要低压力是为了在原子之间碰撞前增加它们之间的平均距离,这个距离指平均自由程,这个路径越长,则轰击待清洗物表面的离子的概率越高。这种高度电离的、宏观上中性的气体称为等离子体。等离子体在性质上不同于普通气体。普通气体是由分子
