等离子清洗装置以气体为清洗剂，附着力拉拔仪锭子不存在液体清洗剂对清洗剂的二次污染。等离子清洗机工作时，真空室内的等离子轻轻地清洗被清洗物体的表面，短时间内将污染物彻底清洗干净，真空泵将污染物排出... ，而且洁净度可以达到分子水平。威廉·克罗克斯爵士于 1879 年发现了等离子体。等离子清洗设备始于
