平均粗糙度和表面颗粒半径的减小增加了ITO与有机层的接触面，附着力急剧减小有利于氧原子的粘附。等离子体清洗设备能更好地改善ITO的表面形貌。同时可以看到，ITO表面的氧空穴明显增多，表面富集了一层带负电荷的氧，形成界面偶极层，增加了ITO的表面功函数，大大增强了ITO的空穴注入能力。此外，等离子体清
