在第三阶段，附着力强图片O2 原始气体以及产生的等离子体和反应残渣对孔壁进行清洁。在等离子清洗过程中，除等离子化学反应外，等离子还与材料表面发生物理反应。等离子体粒子敲除材料表面上的原子或附着在材料表面上的原子。这有利于清洁和蚀刻反应。图 4 显示了经过和不经过等离子清洗的嵌入式过孔（孔径：0.15
