在工程上一般将等离子体蚀刻过后的SiCOH用低浓度氯氟酸(DHF)处理，附着力如何表征通过观察碳耗尽层的厚度来表征等离子体对SiCOH的损伤程度。温度是物体冷热的程度，附着力如何表征而从微观角度，温度是粒子运动的量度，温度越高粒子平均动能越大，反之亦然。等离子体中常直接用粒子的平均能量来表征温度，当
