在清洗HDI板盲孔时，芜湖等离子真空清洗机供应商一般将等离子体分为三个阶段，开始阶段用高纯的N2生产等离子体，同时对印刷板材进行预热，使聚合物材料处于一定的活化状态；第二阶段用O2、CF4为原气，混合后产生O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4、玻璃纤维等反应，达到净化钻污的目的；第三阶段用O2为原
