这些粒子与固体材料表面的相互作用对等离子体本身或固体材料都有重要意义。转瓶式等离子体清洗设备中的粒子将能量传递到固体材料表面,附着力好的绝缘漆同时等离子体带走大量杂质。对于固体材料来说,由于这些高能粒子的轰击和能量转移,使固体材料表面发生了各种物理和化学反应。因此,研究等离子体与固体材料的相互作用过