目前常用的绝缘层数据主要是无机绝缘层数据，附着力和滑移率如无机氧化物，其中二氧化硅是有机场效应晶体管中常用的绝缘层。但由于二氧化硅外观存在一定缺陷，与有机半导体数据兼容性差。因此，有必要采用等离子处理对二氧化硅的外观进行润饰。通过实验，建议采用频率为13.56MHz的VP-R系列处理。IV.有机半导
