等离子器具中的离子或高活性原子与表面污染物碰撞或形成挥发性蒸气，为什么重涂后附着力变差然后通过真空系统去除，以达到净化表面的目的。在高频电磁场中，空气中的氧气如甲烷。在电弧放电的情况下，水蒸气等蒸气分子可以在高速电磁场中净化低压氧气。当电子被电磁场加速时，它会获得高能量并与周围的分子相互作用。或者，
