对于工频、40kHz、13.56MHz，附着力减少是啥真空等离子体设备相对简单，通常进入腔体，频率为40kHz，温度通常在65℃以下，机器内部有强大的冷却风扇，加工时间不长，材料表面温度与室温一致。频率13.56MHz较低，通常为30℃；下面。因此，低温真空等离子体设备更适合加工一些受热易变形的材料
