等离子蚀刻机又称等离子刻蚀机机，附着力促进密着剂等离子平面蚀刻机，等离子表面处理仪，等离子清洗系统等。等离子蚀刻机技术是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区的气体形成等离子体，产生离子体并释放出由高能电子组成的气体，形成等离子体或离子，当离子体原子通过电场加速时，释放出的力足以紧贴材料或蚀
