一般来说，附着力促进剂539杂质主要包括环氧树脂、光刻胶、氧化物和颗粒杂质。不同的杂货需要使用不同的工艺参数和气体。大气压等离子发生器主要分为化学清洗、物理清洗和混合清洗。 1.常压等离子发生器的化学清洗化学清洗常用的气体有H2、O2、CF4等。这些气体通过电离在等离子体中形成高反应性官能团，并与杂
