1.2物理反应清洗利用等离子体中的离子做纯物理撞击，附着力促进剂能用环氧吗将附着在材料表面的原子打掉，也称溅射刻蚀；(SPE)。氩气用于清洗。氩离子以足够的能量轰击装置表面，冲击力足以清除任何污垢。聚合物中大分子的化学键分离成小分子并汽化，由真空泵排出。经过氩等离子体共同清洗后，可以改变材料表面的微
